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歡迎走進蓋斯帕克氣體技術!
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產品名稱:
雙瓶全自動特氣柜
產品型號:
HSPGC150206
產品特點:
...
400-900-9093
sales@szgp.com.cn
深圳寶安松白路 創維數字大廈12樓
產品描述:

雙瓶特氣柜(Gas Cabinet)

名稱:雙瓶特氣柜

規格:雙工藝氣瓶,全自動

型號:HSPGC150206 

■ 特氣柜尺寸:W850寬×D500深×H1800高 

■ 外吹掃:PN2,1/4"MVCR接口 

■ 抽真空:GN2,1/4"MVCR接口 

■ 氣動隔膜閥:CDA驅動,1/4"卡套接口 

■ VENT排空管:1/2MVCR接口 

■ 工藝氣體出口:2個,1/4"MVCR接口 

■ 盤面規格:1/4"盤面

■ 標準配備:自動切換,防爆防腐柜體,防爆自鎖門,防爆玻璃觀察窗,泄漏報警,遠程切斷,欠壓報警,主材SS316L

■ 柜體換氣量:OD100mm排氣口,SiH4-1200次/小時,其余300次/小時 

■ 控制柜尺寸:W850寬×D230深×H320高 

■ 控制柜電源:220VAC,50HZ,200W,漏電保護

■ 操作界面:7"彩色觸摸屏

■ 選配:工藝氣瓶重量監控器,工藝氣體超壓報警,盤面加熱及溫控裝置,報警信號手機短信與電話通知 

適用范圍:應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上,體現于芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。


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