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科研/大學高純氣體系統

  什么是高純氣體

  純度超過99.999%(5N)的氣體統稱為高純氣體。

  高純氣體系統工程

  高純氣體系統是指高純氣體的儲存、輸送與分配過程的設備、管道和部件的總稱。高純氣體系統工程是用于實現特氣系統安全使用的工程。

  高純氣體系統組成

  高純系統由儲存、輸送、分配、控制四類設備組成。其中“存儲”指氣源部分(氣瓶架GR),“輸送”指配管部分,“分配”指二次配部分(氣體分配盤VMP),“控制”指監督控制部分(氣體管理系統GMS)。

科研高純系統

  高純氣體系統特點

  高純氣體系統中的每臺設備均配有自己的控制系統及操作界面,可獨立運轉,可配溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警,并可擴展地震監控報警;也可多臺設備用PLC或TGO連起來組成大系統,在監控中心統一進行管理監控,報警系統還可以與安監系統、消防系統對接。

  適合場合

  既適合芯片半導體、微電子企業、光伏太陽能、生物制藥、新材料等行業的非危險氣體,同樣適合高等院校、科研院所、檢驗檢疫單位。


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